Abstract: 在本论文中主要以可见光做为入射光源，利用玻璃做为基板，镀上金属膜做为高反射层与导电层后，反射率约可达 ，分别以空气及液晶做为共振腔内的介质，利用电压的加入改变液晶之折射率，使共振腔的光学厚度产生变化，以此特性做出可调式的Fabry-Perot型滤光片。另外我们利用体型细微加工的湿蚀刻技术，在硅晶圆上开出厚度 、大小约 的氮化硅薄膜做为透光区域，在氮化硅薄膜镀上金属膜做为高反射层与导电层，以空气做为共振腔介质，将Fabry-Perot型滤光片微型化。而微型化的可调式Fabry-Perot型滤光则因为配向方式不佳，易造成膜堆损坏，因而未能完成。
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