baw

7月10日上午，西南科技大学信息工程学院高杨研究员应邀来我院作题为《体声波(BAW)谐振器与传感器》的学术报告。学院相关研究领域的老师、研究生及相关专业本科生聆听了讲座。 高杨研究员首先分享了体声波(BAW)谐振器与传感器的研究背景和发展前景，然后介绍薄膜体声波(BAW)谐振器的原理、设计仿真方法以及微加工工艺与性能测试表征，并以FBAR微加速度计为例介绍了BAW传感器的器件结构、敏感机理、仿真建模方法、读出电路架构与设计方法等