氧气的同素异形转变过程是将空气中的部分氧气分解并聚合成臭氧。它也可以通过电解水法获得。由于臭氧的不稳定性，很难将其保存在瓶子里。一般来说，它只能用于现场生产。

这种设备利用特定波长(185毫米)的紫外线照射氧分子，分解氧分子，产生臭氧。由于紫外灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，这种发生器适用范围窄，用在碗柜上。

这种设备通常通过电解净化水来产生臭氧。能产生高浓度的臭氧水，制造成本低，使用维护简单。然而，由于臭氧产量不足、使用寿命短、难以收集臭氧等缺点，其应用范围受到制约。目前，臭氧发生器的发电机仅用于某些特定的小型设备或特定的场所，不具备替代高压放电发电机的条件。