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臭氧作为一种强氧化剂，氧化电位为2.07V，仅次于氟和·OH，且反应后分解为氧气不产生二次污染，臭氧对啤酒、印染、柠檬酸等行业废水进行深度处理，对色度去除率高达90%以上，因为臭氧直接与有机物的反应选择性较强，在低浓度和短时间内，也不可能完全矿化污染物，且产生的中间产物会影响臭氧的进一步氧化，O3/H2O2/低压UV组合技术，不需要高能量输入，且设备简单，不产生二次污染，可直接将污染物氧化为二氧化碳和水，其降解速率是单独臭氧氧化的N倍；O3/BAF（接触生物滤池）组合技术是将臭氧和曝气生物滤池技术性结合，废水先通过臭氧预处理提高其可生化性，然后再采用曝气生物滤池进行生化处理，在降低运行成本的同时，保证出水的处理效果。
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