微电子半导体行业使用的材料Wafer,存放的时候需要防止其氧化变质,故需要放在氮气柜内保存。普通的直冲型(不锈钢)氮气柜,由于没有氮气控制系统及柜内环境的检测系统,氮气处于一直消耗的状态,使用成本非常高。三清仪器的节约型氮气柜,相比普通氮气柜可节约80%的氮气消耗量,也可以在原有的普通(不锈钢)氮气柜上升级改造氮气节约系统。

节约型氮气柜控制系统可检测柜内的湿度环境或者氧含量值,通过精密传感器采集的数据反馈到微电脑系统,由微电脑系统控制氮气的供应或停止,实现氮气柜的氮气消耗闭环控制。三清仪器(不锈钢)氮气柜自带氮气节约系统,在非三清仪器的氮气柜上,也可以加装氮气控制系统,实现节约氮气的目的。