2021年全球半导体设备市场为1026亿美元，相较于2020年成长44%，显示随着全球新兴科技的发展，半导体设备的需求明显增加。而这些设备几乎以每周7天、每天24小时不间断地运转着，使得生产过程中，对气体、化学品、水、电等能源的需求，已成为全球政府和半导体业者无法忽视的高额成本和支出。所以半导体设备和关键模组业者在客户的要求之下，必须开发更有效率、更节能的产品，或是可以更节省化学品的使用，并且制订回收再制造等策略。相较一般机械设备业者，半导体设备厂商在节能减排的脚步更加积极，无论是达成目标或是条件也都更为严格。本文从政府和晶圆厂的绿色转型方向，检视半导体设备业者和关键模组厂商相对应的作法和布局，作为我国半导体设备产业走向净零碳排目标之参考。