SF6电气设备内部绝缘材料，包括SF6气体和固体绝缘材料两类。固体绝缘材料因不同设备有所不同，在断路器中的绝缘材料有SF6气体和热固型环氧树脂支撑的绝缘子、拉杆及灭弧室中的额聚四氟乙烯、聚酯乙烯点呢过；其它设备则除热固型环氧树脂外，还有用作匝层间绝缘和电容层的聚酯氟乙烯和绝缘漆。SF6气体、热固型环氧树脂和聚四氟乙烯有很好的热稳定性，只有当温度超过500℃后才会开始分解，700℃后才会明显裂解；但若断路器内部存在局部放电、重燃和严重过热性故障时，将使故障区域的固体绝缘材料和SF6气体发生分解，产生硫化物、氟化物和碳化物。