Abstract 利用漫反射率、X射线光电能谱和质谱等测量方法研究了固态和气态四氧化二氮(N2O4)对漫反射试片氟化镁(MgF2)涂层表面的污染情况.实验表明固态N2O4对MgF2涂层有严重侵蚀作用N2O4固粒污染后的涂层表面漫反射率下降了20%～30%.在一定的时间内气态N2O4对涂层表面的影响显著地依赖它的压力.试片在压力为6.9×104 Pa和200Pa的N2O4蒸气中分别放置10 min前者厚度为40μm的MgF2涂层基本消失表面漫反射率下降约20%;后者涂层表面的原子组成和漫反射率变化很小.还给出了MgF2涂层表面N2O4分子吸附摩尔密度以及与涂层表面碰撞的N2O4分子通过化学吸附过程提取MgF2的几率.