MICROLAB 350 欧杰电子能谱仪(Auger Electron Spectroscopy AES)是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器，可适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域。

AES是利用一电子束为激发源，游离表面原子内层能阶的电子使外层能阶电子填补内层能阶所产生的电洞，同时释出能量进而传输给同原子的外层能阶电子，造成接受能量的电子产生激发游离；此时，游离之电子称为欧杰电子．欧杰电子具有特殊的动能。一般都依据其动能大小而判别其材料表面元素的种类。

本设备采用电子束光源为Schottky Emission Cathode与一般扫描式电子显微镜一样具有二次电子影像(Secondary Electron Image SEI)功能及原理，且其搭配筒镜能量分析器(Cylindrical Mirror Analyzer CMA)可对于被电子束所激发出的欧杰电子侦测，借由AES分析可分辨从原子序3Li起对样品做定性及定量分析。与EDS成分分析深度差异在于EDS为um等级而欧杰电子为nm等级成分分析，因此对于表面分析是非常灵敏，可应用于析出物、氧化层或蚀刻分析等。

由于AES是对试样表面非常灵敏的仪器，因此，保时试片表面的原状与洁净，对分析结果的正确与否非常重要。例如手指接触到试片表面，则可能会检测出Cl、C、Na、O等外来的污染元素。

样品规格：AES面积小于1cm*1cm，厚度小于5mm。

四、收费办法及标准（如与科技部贵重仪器资讯管理系统中的标准有差异，则以科技部贵重仪器资讯管理系统为主）

成大自强校区 仪器设备大楼B1 ‘欧杰电子能谱仪实验室（B110）’