Abstract 在原子力显微镜(AFM)中探针样品间相互作用力产生的多谐波的高阶模态具有高灵敏度的特性。当某一高阶谐波频率与微悬臂某一自然频率相接近时由于共振该阶谐波信号被显著增强。基于此设计一种阶梯微悬臂通过改进微悬臂几何形状调整其自然频率提高高阶谐波信号。通过合理地设计微悬臂尺寸同时激发微悬臂前三阶模态。随后提出一个用于指导阶梯微悬臂设计尺寸选择的图优化微悬臂几何形状以显著提高包含丰富样品材料性质信息的高阶谐波信号。
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