用真空涂布机涂布后,可能需要测量薄膜的厚度。用什么方法测量薄膜的厚度?

最直接的镀膜控制方法是应时晶体微量天平法(QCM),可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板来保持蒸发速率。

只要将仪器与系统控制软件连接,就可以控制整个镀膜过程。然而( QCM)的精度是有限的,部分原因是它监测的是镀膜的质量,而不是其光学厚度。

此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但在高温下会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难防止传感器落入这个敏感区域,从而对胶片造成重大误差。

光学监控是高精度镀膜的首选监控方法,因为它可以更精确地控制膜厚(如果使用得当)。

精度的提高来自于多方面的因素,但最根本的原因还是光学厚度的监控。