other abstract 基于波纹管弹性元件的精密液压加

Other Abstract 基于波纹管弹性元件的精密液压加力机构，加力机构固定在基座上，并与加力控制机构联结，特征是加力机构为一只等效直径为D的波纹管，波纹管的一端密封，另一端联结在底座上，底座和波纹管构成一个内腔，内腔充满液体油，底座有一个孔和液压油路联结，加力控制机构采用设置在液压油路上的压力调节电磁阀。优化方案在波纹管的内腔中设有阻尼片；阻尼片的中心开有小孔。本发明可对镜面加力使之精确变形，利用波纹管力学特性， 使得加力只在轴向产生，同时消除了镜面变形过程中因摩擦造成的爬行现象。适用于光学镜面的精确变形驱动。本发明可以得到纳米级的精确变形分辨率和精度。阻尼片的作用是避免产生振荡，改变形状和尺寸可以改变阻尼系数。