实验室于2019年1月正式由浙江省科学技术厅、浙江省发展和改革委员会、浙江省财政厅等部门批准成立，是西湖大学首批获准成立的重点实验室之一。重点实验室依托西湖大学工学院先进微纳加工与测试平台以及校内与微纳技术相关的课题组和实验室共同建立。现有科研用房全部集中在西湖大学云栖校区2号楼，共计约3000平米，现有大型仪器设备总价值超过6000万元。
研究内容和方向：重点实验室结合微电子集成技术和微纳加工的未来发展方向，在利用现有平面加工工艺研制微纳结构和器件的同时，重点研究和开发3D微纳米加工与表征技术，并通过这些技术在相关学科研究应用中探索学科交叉领域，开拓新的应用和研究方向。
浙江省海岸带环境与资源研究重点实验室（培育建设)
浙江省海岸带环境与资源研究重点实验室是浙江省科技厅2021年培育建设的省重点实验室。实验室将致力于研究海岸带陆-海-气多界面、跨圈层的耦合作用机理及相关过程的预报预测，以便更好认识海岸带问题的成因，并研发解决这些问题的新方法、新技术和新装备。实验室设置三个研究方向：（1）海岸带陆海气相互作用机制及模拟；（2）沿海污染治理及生态修复的新方法、新技术；（3）海洋资源勘探与开发。旨在为解决浙江省、全国和世界其它地区海岸带的生态环境和资源利用问题提供有力的科技支撑，成为一个世界领先的海岸带研究中心。