提供新聘硕士（含）学历以上之人员人事费、计划主持人人事费、国内外顾问专家费、训练费、专利申请费及研发管理制度所需系统之设备使用费等科目之补助，补助比例最高可达100%；企业可于计划书中编列其他研发人员人事费及合作研究费（以自筹款支应），计划总补助比例最高以50%为上限。一次核定2年经费，最高可获得2000万元之补助。

为鼓励可与台湾产业互补互利之外商企业来台从事研发创新活动，凡具备(1)国内外尚未成熟之技术，可在未来产业发展中产生策略性之产品、服务或产业；(2)具潜力可促使台湾产生领导型技术或大幅提升重要产业竞争力和附加价值；(3)进行关键及共通性技术研发、上中下游技术整合或跨领域技术整合，可创造产业链价值等条件，并通过经济部审核者，最高可获得总研发经费50%之补助。

为引导产业朝高值化发展，鼓励业者切入高阶产品应用市场以提升整体产业附加价值率，经济部工业局推动“产业升级创新平台辅导计划”，针对在台拥有研发团队的企业，提供主题式研发计划40%至50%的专案经费补助，及业者自提研发计划最高40%之专案经费补助。