Title: 二氧化碳激光辅助电浆激发式化学气相沉积非晶形二氧化硅薄膜 none
Abstract: 本实验是以二氧化碳激光辅助电浆激发式化学气相沉积二氧化硅。以输出不同波长及不同功率的二氧化碳激光斜向照射在硅基板上，利用电浆激发式化学气相沉积非晶形二氧化硅薄膜。比较以同波长不同功率与同功率不同波长的二氧化碳激光辅助电浆激发式化学气相沉积及以电浆激发式化学气相沉积所沉积出薄膜的特性。借由相关的量测分析，以了解以不同波长同功率与不同功率同波长的二氧化碳激光辅助电浆激发式化学气相沉积法及电浆激发式化学气相沉积法所沉积出来的薄膜品质。
社群 sharing