“纯水”、“超纯水”虽是实验用水的名词却无法明确表示水的纯度。
将水中的导电污染物质去除到比阻抗值达18.2 MΩ.cm(25℃)时就称为“超纯水”。在此必须注意的是比阻抗值只是代表水中无机盐类的含量但并不能表示不含其它种类的污染物质。也就是称为“超纯水”的水还是可能含有不确定量的有机物、微粒子、微生物等污染物质。因此必须同时使用“比阻抗值”与“TOC值”来评估水质。
不论以任何纯化方法来去除污染物质若无法达到18.2 MΩ.cm的水都称为“纯水”。例如“离子交换树脂水”、“蒸馏水”、“逆渗透水”等都属于纯水。“蒸馏水”与“逆渗透水”这一类的纯水由于纯化速率较慢都必须使用纯水储槽储存后再供使用因此被纯化的水在贮存过程中却可能受到贮存器材的材质、混杂在空气中的污染物与微生物的污染造成水质的降低。所以所谓的“纯水”也无法代表一定会有很好的品质其水质会因为纯化方法与使用环境的不同而有所不同。
“超纯水”的定义:一般指经离子交换树脂、活性碳、滤膜法去除水中的主要不纯物质而其比电阻值达到18.2MΩ.cm的水。