台积电表示，传统外气空调箱喷雾加湿系统以水做为质量传递的媒介

晶圆代工厂台积电2330指出，公司致力精进能源使用效率

晶圆代工厂台积电（2330）指出，公司致力精进能源使用效率，针对无尘室中的外气空调箱洗涤加湿系统改装创新的湿膜板设计，估计节电1.49亿度，具体行动落实绿色制造。

台积电表示，传统外气空调箱喷雾加湿系统以水做为质量传递的媒介，水泵将水加压雾化、再由喷嘴将水细化成特定直径水颗粒，进气与水颗粒经过惯性撞击、质传、溶解等作用而去除空气中微污染物，以维持无尘室的进气品质。因介质板喷雾加湿系统受限于空调箱尺寸，无法增加雾化水颗粒与空气接触时间，洗涤水泵用电量占无尘室空调气水输送用电量20%。

为提高能源使用效率，台积电携手供应商共同研发湿膜板，借由细水雾依附于湿膜板上形成大面积水膜，提高外气滞留时间、增加气流湿润面积，使水膜可吸收更多外气所含微污染物，不仅强化洗涤效果，且水泵马力变小，可减少80%用电量，达到节能效益。

台积电表示，截至2022年5月，共完成既有厂区266台外气空调箱湿模板改装，同时列为新建厂标准设计，并导入413台新设外气空调箱，估计节电1.49亿度。

台积电计划至2022年年底既有厂区累计完成316台外气空调箱改装，估计将可增加节电1100万度，新建厂区则持续进行新机导入行动，实践绿色制造承诺，朝永续共好目标迈进。