薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的,用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。

该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说,如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。

AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜测量软件可以测量多达5层膜的厚度和光学常数(n、k值),实现实时或在线膜厚和折射率监控。

AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件,例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件,实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。 例如:AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度,并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。