1.规划：选定碳中和的主题以及范围，由于产业结构多元且复杂，考量“技术可行性”、“成本可控制范围”、“有无法规引导”、“利害关系人间的权益”等议题，借此提升碳中和措施成功之几率。

2.盘查：该阶段需要先了解自身之碳足迹，可简单地从组织与服务业两者来看。

A.企业组织：碳足迹的计算可以透过经济部中小企业处之碳估算工具进行计算，可依循ISO14064、GHG PROTOCOL等指标。

B.服务业：可依照《产品与服务碳足迹计算指引》、ISO14067等指标。

3.碳管理计划(CFM-Plan)撰写：其中内容包含五项要点。

A.如同上述第一点将标的物轮廓勾勒出来，并提出承诺宣告。

B.安排达成的时间规划。

C.在执行期间设定适当的温室气体减量目标。

D.温室气体减量方法，这些内容需要提出各项假设以及证明作法上的可行性。

E.采行的碳抵换方式说明。

4.减量：执行碳减量措施阶段，常见的方法如下。

5.抵换：所谓碳抵换是指碳中和执行过程中，用来抵销碳排放量的动作。常见的做法是购买碳权与上述减量做法，藉以来抵换无法降低的碳排放。