中国科学院沈阳自动化研究所筹建时期。先后经历了辽宁电子技术研究所自动化（903）专业、中国科学院辽宁分院自动化研究所、中国科学院东北工业自动化研究所等阶段。

主要研究方向为自动化技术、计算机应用、光电跟踪系统、数控技术等。

依托沈阳自动化研究所建设的国家机器人示范工程正式启动。

建立中国科学院机器人学开放实验室。

依托机器人示范工程建立机器人技术国家工程研究中心。

中国科学院开展研究所分类定位试点工作，沈阳自动化研究所成为全院首批获得批准进行分类定位的单位之一，定位为先进制造与自动化领域高技术研究与开发基地型研究所。

主要研发领域是：以机器人技术为主导方向，发展自动控制技术、高精度电视跟踪技术、工程自动化总体技术。

建立沈阳新松机器人自动化股份有限公司，工业机器人产业化迈出实际的步伐。以新松公司注册独立运行为标志，研究所投资的高技术公司开始与研究所主体分离，并市场化运营。

依托于沈阳自动化研究所的机器人学国家重点实验室获得国家科技部批准，实验室各项建设逐步展开。