推动薄膜领域的材料研究材料研究的进步给我们的生活方式带来了巨大变化。例如，材料技术推动了通信技术的发展，而这些技术如今早已成为我们日常生活中密不可分的一部分。薄膜结构是电子、光学、机械和能源应用的许多高级功能设备的核心所在。多层材料现在，生长技术允许多层结构沉积，其中各层的厚度可以从微米级别低至单分子层级别。高级薄膜设备所涉及的典型材料包括半导体、金属合金、介电材料和化合物。在各种薄膜结构中，通常需要进行多次测量来分析各种属性，比如层厚、晶相和合金成分、应力、结晶度、密度和界面形态等。研究和监测结构特性为了设计、理解和改进新器件，在多步制程的每个阶段都必须测量关键的结构特性。在薄膜器件的研究、开发和生产中，对薄膜性能的监测是不可少的一步。