描电容显微镜是一种动态EFM。悬臂直接由V tip = V dc + V ac sin（wt）偏置，其中V ac称为驱动电压。根据在半接触模式下第一次扫描期间定义的轮廓，在样品表面上方的某个高度h上执行扫描。尖端与样品表面之间在电势V s下的电容力F cap（z）为

其中C（z）是取决于笔尖几何形状，表面形貌和笔尖表面间距z的笔尖表面电容。

电容力的二次谐波仅取决于（dC / dz）和V ac

并且可用于获取其他信息，例如样品上的表面容量分布。为了最大化二次谐波振荡，将交流频率w调整为等于悬臂共振频率w r的一半。