随着城市用水量的逐渐增大，水资源短缺越来越严重，如处理后水直接排放，浪费了宝贵的水资源。水回用势在必行，水回用具有极高的社会效益和环境效益，它一方面可以减少环境排污量，减少环境污染。多晶硅、单晶硅生产废水在电子半导体工业生产过程产生的废水。多晶硅生产和研磨过程中产生的废水水量较大、传统方法处理后出水的有毒有害金属离子、氟等不能稳定达标，对水资源环境造成的污染日益严重，同时由于我国水资源时空分布极不均匀，未回收利用的氯硅烷低沸物和氯化氢、提纯分离塔的不凝气体、还原炉开停炉置换尾气、各系统检修时的置换尾气等工艺废气经尾气淋洗塔淋洗处理产生的酸性废水，其水量与工艺废气的排放量、氯硅烷和氯化氢的浓度有直接关系。为确保处理后的废气达标排放，工艺废气的排放量或其中的氯硅烷、氯化氢浓度越大，产生的废水量越大。