光刻

据西安交通大学官方消息，12月13日，西安交通大学-合肥芯碁微电子装备股份有限公司共建“光刻装备智能制造联合实验室”签约仪式在创新港举行。 按照双方合作协议，芯碁微装与西安交大将围绕软硬件协同智能化生产、高精度亚像素靶标系统、各种设计软件的数据转换系统、高精度控制系统、计算光刻等领域开展联合研发、人才培养、成果转移等方面合作。 西安交大校长王树国表示，西安交大愿与各类行业龙头企业共建实验室和创新联合体，准确把握科技创新的应用前景，不断推动科技成果转化，通过科技创新引领产品创新发展，支撑产业集群式发展，助力培育新的产业集群，为推动经济社会高质量发展贡献力量