随州无尘厂房如何计算建造清洁车间的能耗和成本?

由于设置洁净室的成本较高,不同洁净度等级差异较大,在洁净室设计过程中,设计师不仅需要合理安排工艺设备,尽可能减少洁净区的面积,还需要针对不同的消费环节设置不同的洁净度等级。

目前12英寸集成电路芯片制造工厂普遍选择“开放式洁净室加微环境”的方式,将芯片制造过程中对空气洁净度要求严格的硅片加工过程置于1 -4级的微环境器件中,而开放式洁净室的洁净度等级仅需5 -6级,有效降低了建/运营投入和能耗。

在中国,清洁工厂的能耗相当大。能耗主要用于用电设备的用电和用热、空调系统的用电/用热和冷负荷、制冷机组的用电、排气装置的用电和用热、超纯水和气体的制备和保证、共用设备和照明的用电等。对于洁净室所要求的空气洁净度来说,洁净室的循环风量非常大。一般空调房每小时只需要几次,而空调房每小时只需要10到600次。由于技术原因,我国洁净室的能耗高于欧美发达国家。