纯度是石英玻璃的主要目标，对理化功能和运用功能影响甚大，如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的请求更为严苛，微量的杂质将给半导体资料的电功能和寿数以及集成度带来严峻的影响。因为半导体资料的纯度请求控制在ppb数量级以下，因而石英玻璃则应控制在PPm数量级以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1很难除掉，是很有害的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿数，K、Na、Li是单晶资料发生微缺点的有害杂质。
石英玻璃属酸性资料，除氢氟酸和热磷酸外，对其它任何酸均表现为慵懒，是优秀的耐酸资料。在常温下碱和盐对石英玻璃的腐蚀程度也是很微的，因而不排除在这些试剂中运用石英玻璃。
透明石英玻璃比不透明石英玻璃具有十分好的化学稳定性，这是因为后者因为气泡的存在暴露在腐蚀液中的表面积添加所造成的。
石英玻璃不吸湿，不风化。石英玻璃对一切碱和碱土化合物都十分灵敏，这些化合物很细微的痕量也会促进石英玻璃在高温下发生析晶。