冷却水塔之工作原理系将与制程行热交换后之高温冷却水回流至冷却水塔经分配管喷嘴洒在 散热材表面形成小水滴与配置在冷却水塔之风扇所抽吸的冷空气相互接触此时热水与冷空气 之间即产生显热 (水之显热为1kcalkg-℃)之热交换作用同时少部分 (约1-1.5%) 的热水被蒸发成 气态水蒸气而吸收蒸发潜热 (水之蒸发潜热为539kcalkg) 再度降低冷却水之温度而形成低温之冷却水。
经冷却水塔冷却后之低温 (32℃) 冷却水→冷却水泵浦→配管至各制程系统行显热之热交换→ (高温冷却水) 回流至冷却水塔之分配管喷嘴形成小水滴→流经散热材与风扇所吸入之冷空气进行显热及潜热之热交换→(低温冷却水) 冷却水水池→冷却水泵浦再泵送至各制程系统形成一循环回路。