泵的排气压力与进气压力之比称为。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。

泵的极限压力为10-9Pa，工作压力范围为10-1～10-8Pa，为几十到几千升每秒（1L=10-3m3）。

涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵。

本身由转速为10000～60000转/分的直联驱动。