挥发性有机物（VOCs）是生成 PM2.5 主因之一，国内 VOCs 排放总量约 45 万公吨，根据空污法规定，凡使用、输送或贮放有机溶剂或其他挥发性物质，致产生异味污染物或有毒气体皆进行开罚。目前要削减制程的 VOCs 排放，多是采用高温焚化法，需加热至 700 － 800°C，消耗大量燃料。相较于国际的奈米触媒产品需 300 － 350°C，工研院开发的“单原子触媒技术”，可把贵金属铂（Pt）分散于载体表面形成单原子触媒，用量仅需国际大厂的 20%。
经由实场测试证实，此技术于 200°C对 VOCs 的破坏移除效率（Destruction Removal Efficiency；DRE）可达到99%。
未来进行热整合后，具有节省 50% 以上的燃料，达到节能减碳之功效，有助于降低设备成本与高温失控的风险。