多弧离子镀作为物理气相沉积技术的一个分支,是在真空蒸镀和真空溅射的基础上发展起来的一门新型涂层制备技术,也称为真空弧光蒸镀法,它把真空电弧放电用于电弧蒸发源。多弧离子镀膜机是一种高效、无害、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。因此在材料表面改性领域得到了广泛应用。
多弧离子镀过程的突出特点在于它能产生由高度离化的被蒸发材料组成的等离子体,其中离子具有很高的动能。蒸发、离化、加速都集中在阴极斑点及其附近很小的区域内。其特点如下:
(1)最显著的特点是从阴极直接产生等离子体。
(2)入射粒子能量高,涂层的致密度高,强度和耐久性好。
(3)离化率高,一般可达60%~80%。
(5)设备较为简单,采用低电压电源工作比较安全。
(6)一弧多用,电弧既是蒸发源和离化源,又是加热源和离子溅射清洗的离子源。
(7)外加磁场可以改善电弧放电,使电弧细碎,细化涂层微粒,增加带电粒子的速率,并可以改善阴极靶面刻蚀的均匀性,提高靶材的利用率。
多弧离子真空镀膜机的应用范围:
1、在硬质涂层中的应用:切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。
2、在防护涂层中的应用:飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。
3、在光学薄膜领域中的应用:增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。
4、在建筑玻璃方面的应用:阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。应用范围很广泛,就罗列出来这些吧。
佛山金欣盛真空专业从事各种真空镀膜应用设备制造和各种产品的镀膜加工,不断引进国外先进的真空镀膜设备,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以最新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供量身定做般的工艺解决方案和镀膜设备。