关键装备的进口替代，率先实现了国产干式真空泵在集成电路领域的应用。

数十年的研发制造积累，始终专注于真空技术及装备领域。

各种升降样品台、运动及操作部件、旋转导入操作件等。

为用户提供全面的技术服务，助力客户，探索科技的多种可能性。

以高真空、超高真空、超洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得（干式真空泵）及系统集成。

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业。

“国家分子束外延技术试验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等。

前身是中国科学院沈阳科学仪器研制中心，创建于1958年。

公司依靠自身的技术和人才优势，创造了多项国内第一。