真空泵机组近年来 为了满足一些特殊行业 如航天、 电子、 医疗 、 食品等行业对清洁真空的需求 真空泵机组国内外学者对真空泵机组的干式密封也进行了相应的研究 【川“ 并取得了一定的进展 。就目前来讲 干式真空泵机组主要是多级罗茨泵 【'、多级螺杆泵 ` '、爪形泵 、多级活塞泵和涡旋泵等 川。目前 国内对旋片式真空泵机组的干式密封的研究也取得了一定的成果而且有干式旋片泵投入生产。但总体来说 干式旋片泵虽然也有生产 如 一型无油旋片式真空泵机组却在很多方面都存在着不足 其普及性和可靠性远远不能满足生产发展的要求 。因此 如何获得清洁有效的真空 是目前真空获得设备的主要研究方向。
除了使用干式泵外 也有通过其他方法来实现清洁真空。例如 把膜片泵和旋片泵复合 把两种泵的优势结合在一起 解决了化学侵蚀 、被抽环境污染等问题 获得较高的极限真空度。又如 日本将螺杆泵和碳旋片泵进行复合 不仅可以实现清洁真空的获得 而且可以达到较低的极限压力 。还有一种设置干式真空级的方法 可以防止对真空室的污染`川。也可以采用添加一些附属设备的方法来保证清洁真空的获得 如除尘器 、油路过滤器等近年来 随着我国电子科技 、食品加工、 医疗生产等方面的不断进步 对旋片式真空泵的各项性能指标的要求也越来越高 急切需要更可靠 、更高效的旋片泵产品来满足国内生产的需求 。国外生产的旋片泵在性能上要领先国内很多。我们可以就 一 旋片泵的经济技术指标 对国内外的产品 进行比较 `'`】 分析国内外存在的技术差距。