????? 主持项目包括国家863计划重点课题、973课题、国家自然基金以及国防科工委国防基础研究的相关研究项目20余项。危化品状态检测MEMS传感器产业化关键技术与应用
面向石化等重要行业的MEMS压力传感器的制造技术与实用化研究;石**业微传感器及系统；MEMS高温高压高频响微型压力传感器研究；超高速柔性主轴系统高精度动平衡的传感器研究技术；三维微力硅微传感器研究；基于SOI技术多传感器集成技术研究；基于SOI技术的传感器集成与特种传感器研究；面向帕金森病治疗的MEMS颅内微型压力传感器研发；耐高温微型微压力传感器研究；基于MEMS技术惯性测量系统研究。