六氟丁二烯又称全氟丁二烯,六氟丁二烯主要用作合成原料、电子特气,用于化学合成、电子蚀刻等领域。最初合成出来是作为聚合物的单体,但是其聚合物的性能不佳,没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。在电子蚀刻方面,六氟丁二烯可用作蚀刻气体,具有高选择性、高蚀刻精度、高蚀刻效率、低环境污染等优点,发展潜力大,因此,此领域成为六氟丁二烯的主要下游市场。

含氟电子特气是电子特气的重要组成部分,可用于清洗、蚀刻等方面,而电子级六氟丁二烯是含氟电子特气产品之一。

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