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近日,不少朋友咨询关于高纯铝靶材加工方法的相关问题。欧凯靶材专家指出,锌铝靶材加工方法可以分为形变铝合金和铸造铝合金两大类:变形铝合金能承受压力加工。
高纯铜溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
高纯溅射靶材是伴随着半导体工业的发展而兴起的,属于典型的技术密集型产业,产品技术含量高,研发生产设备专用性强。美国、日本的半导体工业相继催生了一批高纯溅射靶材生产厂商.
些年来,随着集成电路(IC)技术的进步,围绕集成电路的相关应用得到迅速发展,超高纯铝合金溅射靶材作为集成电路金属互连线制造中的配套材料,由此成为最近国内研究的热点。
