简要描述:ZT-60-15立式化学气相沉积炉双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

立式吸污机该怎么使用?使用时需要注意什么?

化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。

1、立式结构,炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。

2、双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

3、控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。

4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

ZT-60-15立式化学气相沉积炉三、主要技术参数:

1、卧式结构,双炉门结构,炉门启闭采用气动方式。