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低温等离子体是继固态、液态、气态以后的物质第四态,当外加电压到达气体的放电电压时,气体被击穿,发生包含电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中尽管电子温度很高,但重粒子温度很低,全部系统呈现低温状况,所以称为低温等离子体。等离子废气净化器降解污染物是使用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用,使污染物分子在极短的时间内发生分化,并发生后续的各种反应以到达降解污染物的意图。