RTS-8型四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、电脑等部分组成，测量资料既可由主机直接显示，亦可由电脑控制测试采集测试资料到电脑中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在电脑上拥有友好测试界面的用户程式，通过此测试程式辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试资料并对测试资料进行统计分析。