概要：六氟化硫是一种无色、无臭、无毒和无腐蚀性的化合物。在常温常态下呈气态，为不燃气体，是化学稳定性较好的非金属氧化物。由于具有优良的化学和热的稳定性，在保证纯度的情况下，500℃温度下也不会被分解。由于具有优良的绝缘性能和减弧能力，即使在电弧下发生瞬间分解、电离，但在电弧消减后也能很迅速的恢复到原有的稳定状态，故利用它的高度化学稳定性和出色的电气绝缘特性，广泛地利用与电气工业和超高压绝缘材料。此外它还具有传热系数大，冷却效果好的特点。
六氟化硫广泛用于高压、中压电气设备的绝缘材料和减弧介质;金属冶炼制造工艺的防氧化剂，气象示踪剂，制冷工艺的制冷剂和热载体。在医疗上用于X-射线装置的绝缘气。还可用于制造单晶硅一级基础理论科学研究等。