能够从密闭容器排出气体或连续减少容器中气体分子数量的装置通常被称为真空装置或真空泵。干式真空泵目前可以采用真空技术,使用各种方法获得和测量压力范围,从105 Pa到10-13 Pa的大气压力和高达18个数量级的宽度。显然,仅使用一种类型的真空泵很难获得这种宽的低压空间的气体状态。

干式真空泵的原理是什么?

在真空采集技术中,目前有两种获得真空的技术方法,一种是通过一定机构的运动直接从密闭容器中排出气体;另一种是通过物理鲲化学等吸附气体分子。或在低温表面凝结。通过这两种方法制造的真空泵种类很多,分类方法也不同。然而,最常见的方法根据泵的工作原理或其结构特征进行分类。这将在下一节中介绍。