RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
粒径范围(5通道) ≥0.1µm≥0.15µm≥0.2µm≥0.3µm≥0.5µm标配(可选≥1.0µm)
可选通道 1-10个通道由控制器设定设定范围:0.10.13~0.5µm
尺寸.重量 125×240×151mm大约:4kg