在计算机开发的早期，真空技术领域的应用主要用于数值计算。自从1970年代微处理器问世以来，计算机在真空技术领域的应用发展迅速。除了对真空设备和过程的自动控制之外，真空产品的计算机辅助设计和制造（CAD / CAM）除了对真空产品性能的计算机辅助测试（CAT）之外，还适用于企业管理真空设备制造厂的建立，使其逐渐实现工厂自动化成为可能。但是，目前，真空技术中主要使用计算机来进行自动控制，以实现对真空装置和过程的程序控制，数据的收集，传输，计算，处理，显示，记录和调整真空过程的过程参数。对设备的运行状态进行监控和诊断，以提高真空设备的控制质量，实现真空设备图纸的真正自动化。