检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

是决定产品采用何种结构真空度是有表压及绝对压力这两种读数。绝对压力表示读数是绝对值，即读数愈靠近‘0'，真空度愈高。但反观表压，愈接近 760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所要求的绝对压力（极限真空）是靠近‘0'，那么只有真空泵才可以满足这个需求，但假若需求是靠近1bar（即大 气压力），那么便可以选用罗茨风机或离心风机来满足这个需求。

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的**工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

V为真空室容积（L）

t为达到要求真空度所需时间(s)

例如： V=500L t=30s P1=760Torr P2=50Torr

当然上式只是理论计算结果，还有若干变量因素未考虑进去，如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数考虑在内。