干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气场合。被抽气在工作腔内有无压缩，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

特别是在以下几种情况：

10)所有与油发生反应的真空工艺过程 如果用旋片泵的缺点是时间的话，可以考虑在旋片泵上加一个罗茨真空泵，可以大大缩短抽气时间。罗茨真空泵就是为此目的开发的，还可以减少功耗。