简要描述：sj6000双频激光干涉仪精密测量仪器的测量软件可

简要描述：SJ6000双频激光干涉仪精密测量仪器的测量软件可以将线性测量结果生成的误差补偿表，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

SJ6000双频激光干涉仪精密测量仪器的测量软件可以将线性测量结果生成的误差补偿表，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时，采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点。

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

SJ6000双频激光干涉仪精密测量仪器结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。