什么是高纯气体管道配管技术？所谓的高纯气体配管技术，是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等；是高纯气体供应系统的重要组成部分；是保证高纯气体安全稳定地输送到用气点，且符合设备使用要求的关键技术。

高纯气体管道系统工程有着能保证气体的纯度、保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化等特点，广泛应用于半导体、集成电路、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、科研研究所、标准测试等高科技行业。

常见气体种类：

常用半导体气体分类如下:

半导体行业中使用的电子特种气体，很多都是对人体有害的。比如，半导体制程工艺最常见的特种气体：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，一旦发生泄漏，它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有剧毒性，任何轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险，所以对于高纯气体供应系统设计的安全性要求特别高。