通过理论模拟对具有上覆盖层的SiO2脊形条波导结构进行了优化，在此基础上利用微电子工艺制作了SiO2脊形波导Mach-Zehnder型电光调制器，并进行热极化引起的电光和非线性效应的研究.热极化过程大幅增强了样品的电光及非线性效应，二次电光系数由热极化前的1.56×10-22(m/V)2提高到热极化后的8.50×10-22(m/V)2，极化后得到了0.093pm/V的线性电光系数，对热极化的物理机理进行了理论分析.
基金项目: 国家自然科学基金(批准号：60377022 60408001)和教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题.
1. 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州 310027
国家自然科学基金(批准号：60377022 60408001)和教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题.
摘要: 通过理论模拟对具有上覆盖层的SiO2脊形条波导结构进行了优化，在此基础上利用微电子工艺制作了SiO2脊形波导Mach-Zehnder型电光调制器，并进行热极化引起的电光和非线性效应的研究.热极化过程大幅增强了样品的电光及非线性效应，二次电光系数由热极化前的1.56×10-22(m/V)2提高到热极化后的8.50×10-22(m/V)2，极化后得到了0.093pm/V的线性电光系数，对热极化的物理机理进行了理论分析.