螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。

其工作原理:

螺杆真空泵的工作过程可分为三个过程:吸气,压缩和排气。 当转子旋转时,彼此啮合的每一对齿又一次完成相同的工作循环。 现在,一对牙齿用于说明。

在螺杆泵的排气过程中,在齿之间的容积连接到排气口之后开始排气过程。 随着齿间容积的不断减小,具有排气压力的气体逐渐通过排气口排出。