民国元年1912年2月，废杭州府，以原钱塘、仁和县地并置杭县，与余杭县同属钱塘道。

1949年5月两县解放，余杭、杭县建制未变。

1958年4月，杭县被撤销，属杭州市郊区。

1960年1月建立钱塘联社县级。

余杭县亦于1958年10月撤销，并入临安县。

1961年3月，从临安县析出原余杭县境与钱塘联社合并，4月，钱塘联社撤销，恢复县建制，定名余杭县，县治设临平镇。

1994年4月，撤销余杭县，设立余杭市。

2001年3月，撤销余杭市，设立杭州市余杭区。

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